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HR-Femto 200 系列光纤飞秒激光器

HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,医疗器械制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。

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商品描述

HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,医疗器械制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。


  HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,医疗器械制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。
  
  产品特点
  
  · 高达200微焦的单脉冲能量
  · 支持Burst Mode
  · 脉宽小于350fs
  · 光、电一体化设计
  · 一键式操作,无任何调节旋钮
  · 内置光学隔离装置
  · 内置脉冲选择器
  · 可远程控制,免维护
  
  应用领域
  
  · 半导体晶圆加工
  · 陶瓷与聚合物加工
  · 金刚石加工
  · 新能源材料加工
  · 硬脆性材料加工与焊接
  · 难加工金属加工
  · 高分子材料加工与处理

HR-Femto-IR-200-35
波长(Wavelength) 1035 nm
平均功率(Average Power) 35 W
脉冲能量(Pulse Energy) 200 μJ @ 175 kHz
脉冲宽度(Pulse Duration) <350 fs
峰值功率(Peak Power) >500 MW 
重复频率(Repetition Rate) Single shot to 2 MHz
光束质量(Beam Quality) M2≤1.3
光斑发散角(Beam Divergence) <1 mrad, 2θ
光斑圆度(Beam Circularity) 85%
光束直径(Beam Diameter) 4 ±2 mm, 1/e2
偏振比(Polarization Ratio) > 100:1
偏振方向(Polarization Direction) Vertical
脉冲稳定性(Pulse Energy Stability) <2% RMS
功率稳定性(Power Stability) <2% RMS
外部接口(External Comms) RS-232, Ethernet, USB

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