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HR-Femto 200 系列光纤飞秒激光器

HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,医疗器械制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。

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商品描述

HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,医疗器械制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。


  HR-Femto 200 系列是由 Huaray 自主研发生产的,稳定、可靠的飞秒脉冲光纤激光器产品,也是国家重点研发计划专项研发成果。该系列产品采用光、电一体化设计,脉宽小于350飞秒,单脉冲能量高达200微焦,并支持Burst Mode模式,可广泛应用于用于半导体晶圆加工,玻璃等硬脆性材料加工或焊接,高分子材料加工与处理,医疗器械制造等领域,陶瓷与聚合物加工等领域。
  
  产品特点
  
  · 高达200微焦的单脉冲能量
  · 支持Burst Mode
  · 脉宽小于350fs
  · 光、电一体化设计
  · 一键式操作,无任何调节旋钮
  · 内置光学隔离装置
  · 内置脉冲选择器
  · 可远程控制,免维护
  
  应用领域
  
  · 半导体晶圆加工
  · 陶瓷与聚合物加工
  · 金刚石加工
  · 新能源材料加工
  · 硬脆性材料加工与焊接
  · 难加工金属加工
  · 高分子材料加工与处理

型号 HR-Femto 200-35
中心波长 1035nm
输出功率 35W
脉冲能量 200μJ@175kHz
峰值功率 >500MW
重复频率 100kHz to 5MHz
脉冲宽度 <350fs
光束质量 M2≤1.3
光斑发散角 <1mrad,2θ
光斑圆度 ≥90%
光束直径 4±2mm,1/e2
偏振比 >100:1
偏振方向 Vertical
脉冲能量稳定性 <2%RMS
功率稳定性 <2%RMS
启动时间 <45min(Cold Start)
<15min(Warm Start)
外部接口 RS-232, Ethernet, USB
工作环境温度(非结露) 20 to 30℃
储存温度 -20 to 60℃
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